Aylanma plastinkali vakuum nasosi elektronika qayta ishlashini qanday qo'llab-quvvatlaydi?

Elektronika ishlab chiqarish sohasida aniqlik va kontaminatsiya nazorati ixtiyoriy emas — ular mahsulot sifati va chiqimni belgilovchi asosiy talablardir. A rotary Vane Bo'sh joy pompi aylanuvchi plastinkali vakuum nasosi ko'plab elektronika qayta ishlash bosqichlariga tayanadigan past bosimli muhitlarni yaratish va saqlashda hal qiluvchi rol o'ynaydi. Komponentlarni biriktirishdan yumshoq qatlamli joylashtirishgacha, ishlov berish kameralaridan havoni va namlikni ishonchli tarzda chiqarish qobiliyati bu turdagi nasosni zamonaviy ishlab chiqarish korxonalarida beqiyos qiladi.

Aylanuvchi plastinkali nasosning vakuum pompa elektronika qurilmalarini ishlab chiqarishda elektronika qurilmalarini qayta ishlashni qo'llab-quvvatlaydi; bu texnologiya asosidagi mexanik prinsiplarga hamda yarimo'tkazgichlar va elektronika qurilmalarini ishlab chiqarish jarayonlarining maxsus talablariga e'tibor berishni talab qiladi. Ushbu maqola bu nasoslar elektronika ishlab chiqarishida qanday asosiy usullarda qo'llanilishini tushuntiradi, ularning bu sohalarga mos kelishini izohlaydi va muhandislarga hamda sotib olish bo'yicha mutaxassislarga o'z korxonalarida vakuum yechimlarini tanlashda amaliy maslahatlar beradi.

Aylanuvchi plastinkali vakuum nasoslarining ishlash mexanik prinsipi

Plastinka mexanizmi qanday qilib vakuum hosil qiladi

Aylanuvchi plastinkali vakuum nasosi silindrsimon korpus ichida markazdan tashqari o'rnatilgan aylanuvchi rotor yordamida ishlaydi. Rotor aylanganda, prujinali plastinkalar rotordagi slotlardan tashqari siljib, korpusning ichki devorlariga bosiladi. Bu aylanish paytida hajmlari doimiy o'zgarayotgan bir qancha germetik xonalarni hosil qiladi. Gaz kengayuvchi xonalarga kirish tomonida olinadi va chiqish tomoniga siqiladi, so'ngra chiqish klapani orqali tashqariga chiqariladi.

Bu ijobiy silindir hajmi mexanizmi aylanuvchi plastinkali vakuum nasosining atmosfera sharoitidan ancha past bosimlarga erishish imkonini beradi. Bir bosqichli dizaynda nasos odatda bir necha millibar doirasida oxirgi bosimlarga erisha oladi, ikki bosqichli dizaynda esa gaz ketma-ket ikkita siqish bosqichidan o'tadi va yana ham pastroq oxirgi bosimlarga erisha oladi. Elektronika qayta ishlashda hatto eng maydanoq qoldiq gaz miqdorlari ham nozik operatsiyalarga ta'sir qilishi mumkin bo'lgani uchun bu chuqur vakuum qobiliyati juda qimmatli.

Suv tortish mexanizmi moy bilan yuqorilangan bo'lib, bu moy bir nechta maqsadlarga xizmat qiladi: u plastinkalar va korpus devori orasidagi maydanoq bo'shliqlarni germetiklaydi, ishqalanishni kamaytiradi va nasosni sovutishga yordam beradi. Biroq, bu moy elektronika sohasidagi qo'llanishlar uchun muammolarga sabab bo'ladi — potentsial bug'ning teskari oqishi — shuning uchun nozik muhitlarda aylanuvchi plastinkali vakuum nasosi bilan birga mos tutilgan va filtratsiya qilinadigan qurilmalardan foydalanish kerak.

Elektronikada bir bosqichli va ikki bosqichli konfiguratsiyalar

Elektronika qayta ishlash uchun aylanuvchi parrakli vakuum nasosi tanlashda bir bosqichli va ikki bosqichli konfiguratsiyalar orasidagi tanlov muhim ahamiyatga ega. Bir bosqichli nasos odatda umumiy materiallarni ko'tarish, oddiy degazatsiya yoki yuqori quvvatli ortiqcha nasos tizimlarini qo'llab-quvvatlash kabi o'rtacha vakuum darajasi talab qilinadigan ilovalarga mos keladi. Ushbu nasoslar dizayni soddaroq va odatda ularga xizmat ko'rsatish osonroq.

Boshqa tomondan, elektronika ishlab chiqarishda ikki bosqichli aylanuvchi parrakli vakuum nasosi ancha ko'proq qo'llaniladi, chunki u gazni chiqarishdan oldin ikkita ketma-ket siqish bosqichidan o'tkazib, chuqurroq vakuum yaratadi. Bu dizayn erishiladigan oxirgi bosimni kamaytiradi va shuningdek, jarayon kamerasiga moy bug'larining migratsiyasini kamaytiradi. Shpaterlangan qoplamalarni qo'llash, kimyoviy bug'lar orqali cho'ktirish yoki pechat platalarini vakuumda qizdirish kabi operatsiyalarda ikki bosqichli konfiguratsiya talab qilinadigan vakuum sifatini ta'minlaydi.

Jarayon uchun aylanma plastinkali vakuum nasosi tanlayotgan muhandislar talab qilinadigan oxirgi bosim, so'rish tezligi va gaz yukini e'tiborli ravishda baholashlari kerak, shunda bir bosqali yoki ikki bosqali ishlash tizim talablarga eng mos keladimi yoki yo'qmi aniqlash mumkin. Bu baholash faqat texnik vazifa emas — u uzun muddatli jihatdan jarayon takrorlanuvchanligiga hamda mahsulot sifatiga bevosita ta'sir qiladi.

Aylanma plastinkali vakuum nasoslariga tayanadigan asosiy elektronika qayta ishlash qo'llanmalari

Yupqa qatlamni joylashtirish va qoplamalash jarayonlari

Yorugʻlikni oʻtkazmaydigan parda qoʻyish jarayonlari — jumladan, fizik bugʻlanish usuli (PVD) va kimyoviy bugʻlanish usuli (CVD) — elektronika ishlab chiqarishidagi eng talab qilinadigan vakuum qoʻllanish sohalari hisoblanadi. Bu jarayonlar oʻtkazgich, qarshilikka ega yoki izolyatsiya qiluvchi qatlamlarni substratga aniq qoʻyish uchun boshqariladigan past bosimli muhitni talab qiladi. Aylanuvchi vane vakuum nasosi odatda bu tizimlarda avvalgi (gʻovak) nasos sifatida ishlatiladi va yuqori samarali turbomolekulyar yoki diffuziya nasoslari ishga tushishidan oldin xonani atmosfera bosimidan ishlaydigan diapazonga tezda boʻshatadi.

Aylanuvchi vane vakuum nasosining xonani atmosfera bosimidan uning oʻtish nuqtasigacha boʻshatish tezligi jarayon quvvatini sezilarli darajada taʼsirlaydi. Yuqori hajmli ishlab chiqarish muhitida tezroq xona boʻshatish qisqa sikl vaqtini va koʻproq mahsulotlar har bir smenada qayta ishlanadi. Shu sababli, soatiga kub metr yoki soniyasiga litrlarda o'lchanadigan — pompaning sug'urish tezligi — ushbu ilovalar uchun asosiy tanlash me'yori hisoblanadi.

Qo'shimcha ravishda, aylanuvchi perevorkali vakuum pompasining ishonchliligi osma qatlamning doimiylikka ta'sir qiladi. Agar g'ovak pompa jarayon davomida ishlamasa, butun kamera havoga ochilishi, pompa texnik xizmat ko'rsatilishi va jarayon qaytadan boshlanishi kerak bo'ladi — bu istalgan ishlab chiqarish muhitida xarajatli uzilishdir. Shuning uchun, mustahkam pompa dizayni va muntazam texnik xizmat ko'rsatish jadvallari dastlabki ishlash me'yoriy qiymatlari qadar muhimdir.

Yarimo'tkazgich komponentlarini boshqarish va joylashtirish

Depozitsiya kamerasidan tashqari, aylanuvchi perevachali vakuum nasosi texnologiyasi yarimo'tkazgich komponentlarini montaj qilish jarayonida ularni jismoniy boshqarishni ham ta'minlaydi. Sirtga o'rnatish texnologiyasi (SMT) liniyalari da ishlatiladigan vakuumli olmoq-va-qo'yish tizimlari — maydona plitalarga joylashtirish paytida nozik komponentlarni, jumladan, mayda chip kondensatorlar, rezistorlar va integratsiyalangan mikrosxemalarni — mustahkam ushlash uchun barqaror vakuum hosil qilishga tayanadi.

Bu qo'llanmalarda aylanuvchi perevachali vakuum nasosi bir nechta olmoq-va-qo'yish boshliklariga bir vaqtda ta'minot beradigan tarqatish tizimiga asosiy vakuum ta'minotini beradi. Nasos bosim tebranishlari bo'lmasdan doimiy vakuum bosimini saqlab turishi kerak, chunki noqat'iylik komponentlarning noto'g'ri joylashishiga yoki tushib qolishiga sabab bo'ladi. Shu sababli, o'zgaruvchan yuk sharoitlarida barqaror vakuum hosil qilish muhim ishlash xususiyatidir.

Komponentlarning shikastlanishi — boshqa bir muammo. Chunki ko'plab zamonaviy elektron komponentlar juda nozik va statik elektr zaryadiga sezgir bo'lgani uchun, vakuum tizimi ortiqcha tebranish yoki elektr to'g'ri ishlamay qolishini keltirib chiqarmasdan ishlashi kerak. Yaxshi loyihalangan aylanuvchi perevachli vakuum nasoslar birliklari shu nozik montaj muhitida xavfni kamaytirish uchun past tebranish darajasiga ega va mos elektr izolyatsiyasi bilan jihozlangan.

Elektron montajlarning vakuumda quritilishi va gaz chiqarilishi

Vakuumda quritish — elektron montajlar va substratlar ustidan keyingi ishlov berishdan oldin namlik, erituvchilar va boshqa uchuvchan ifloslantiruvchilarni olib tashlash uchun muhim jarayon bosqichi. Bu jarayon ayniqsa, qatlamlar orasidagi namlik qatlamlarning ajralishiga, korroziyaga yoki maydonda ishlashning buzilishiga sabab bo'lishi mumkin bo'lgan ko'p qatlamli pechat doskalari, gigbrid sxemalar va mikroelektron paketlar uchun ahamiyatli.

Aylanuvchi plastinkali vakuum nasosi pechda quritish jarayonida vakuum muhitini boshqaradi va volatillarning nisbatan o'rtacha haroratlarda ham samarali ravishda gazdan chiqishini ta'minlaydigan past bosimni saqlaydi. Nasos bu gazdan chiqish natijasida yuzaga keladigan kengaytirilgan gaz yuklamasini sezilarli ishlash samaradorligining pasayishisiz qabul qilishi kerak. Shu sababli, kondenslanadigan bug'lar tufayli moyning ifloslanishini oldini olish uchun havo yoki azotni nazorat qilinadigan darajada kirgizish imkonini beruvchi gaz balanslash funksiyasi aylanuvchi plastinkali vakuum nasoslarida, xususan vakuumda quritish uchun ishlatiladigan modellarda juda qimmatli hisoblanadi.

Jarayon muhandislari ko'pincha vakuumda quritish uchun katta moy sig'imi va samarali moy ajratish tizimiga ega nasoslarni belgilaydilar, chunki yuqori bug' yuklamasi moyning quruq gazli ilovalarga qaraganda tezroq sifatini pasaytirishi mumkin. Nasosning ishonchli ishlashini ta'minlash uchun moy tahlili va muntazam moy almashtirish — bu talab qilinadigan xizmat sharoitlarida standart amaliyotdir.

Elektronika qayta ishlash uchun moslikni aniqlaydigan ishlash omillari

Oxirgi bosim va sovurish tezligi talablari

Elektronika qayta ishlash uchun aylanma perevachli vakuum nasosi baholanayotganda eng muhim ikkita xarakteristika — oxirgi bosim va sovurish tezligidir. Oxirgi bosim nasosning ideal sharoitda erisha oladigan eng past bosimni belgilaydi, sovurish tezligi esa nasosning bo'shatilayotgan tizimdan gazni qanchalik tez olib tashlay olishini ko'rsatadi. Ikkala parametr ham aniq jarayon talablariga e'tibor bilan moslashtirilishi kerak.

Elektronika jarayonlari vakuum talablari jihatidan keng ko'lamli farqlanadi. Vakuumda qizdirish faqat bir necha millibar bosimni talab qilishi mumkin, shu bilan birga yupqa qatlamli joylashtirish odatda ikkinchi darajali vakuum yaratish bosqichlariga o'tishdan oldin pastroq bosimlarga etish uchun avvalo g'ovaklash tirnoqlari bilan ishlov berishni talab qiladi. Maqsadga mos kelmaydigan yetarli chegaraviy bosimga ega bo'lmagan aylanuvchi vankali vakuum nasosini tanlash jarayonlarning muvaffaqiyatsizlikka uchrashiga sabab bo'ladi, shu bilan birga nasosni ortiqcha kattalashtirish esa kapital va energiya sarfini behuda sarflab, ahamiyatli yaxshilanishga erishmasdan qoladi.

Suvni chiqarish tezligi jarayon kamerasining hajmi va kamerani vakuumga olish uchun qabul qilinadigan tsikl vaqtiga mos kelishi kerak. Juda sekin ishlaydigan nasos ishlab chiqarishda toʻsiq yaratadi, aks holda toʻgʻri tanlangan nasos har bir kamerani jarayon oynasida ishchi bosimiga etkazishini ta'minlaydi. Ishlab chiqaruvchilar bosim diapazoni boʻyicha ishlash koʻrsatkichlarini aks ettiruvchi suvni chiqarish tezligi egri chiziqlarini taqdim etadi va muhandislarga ushbu egri chiziqlarni faqat atmosfera sharoitidagi kirish bosimida emas, balki ularning jarayoni uchun haqiqiy ishchi bosimlarida baholash kerak.

Moy bugʻi boshqaruvi va kontaminatsiya nazorati

Aylanuvchi plastinkali vakuum nasosi ichki qismida moy bilan yuqorilashdan foydalanadi, shuning uchun moy bug'i jarayon kamerasi tomon qaytib o'tish xavfi — bu hodisa «orqaga oqish» deb ataladi. Nanogram darajasidagi zarrachalar ham elektronika qurilmalarining ishlash samaradorligi va ishonchliligini ta'sirlashi mumkin bo'lgan elektronika ishlab chiqarishda bu xavfni vakuum nasosi va kamerasi o'rtasiga sovuq tutqichlar, moy buluti filtrlari va molekulyar ekranni o'rnatish orqali faol boshqarish kerak.

Zamonaviy aylanuvchi plastinkali vakuum nasoslarining dizayni ushbu muammoni yaxshilangan kirish klapani geometriyasi, nasos korpusi ichida yaxshilangan moy ajratish tizimi va yarim o'tkazgichlarga yaqin qo'llaniladigan dasturlarda ishlatish uchun yuqori bug' bosimi past bo'lgan moylardan foydalanish orqali hal qilgan. Ba'zi konfiguratsiyalarda quvvat uzilganda moyning vakuum tizimiga tortilishini oldini oladigan anti-suckback klapanlaridan ham foydalaniladi — bu elektronika muhitida bitta zarracha kontaminatsiyasi yuqori qiymatli komponentlar partiyasini vayron qilishi mumkin bo'lganida ayniqsa muhim xavfsizlik xususiyatidir.

Zarralarga nisbatan eng qat'iy talablarga ega bo'lgan ob'ektlar ko'pincha aylanuvchi perevachli vakuum nasosining kirishiga to'g'ridan-to'g'ri oldingi chiziq ushlagichini o'rnatadi va bug'lanish bosimi juda past bo'lgan Fomblin yoki boshqa perfluorlangan moylardan foydalanadi. Bu choralar xarajatlarni oshiradi, lekin himoya qilinayotgan jarayonlarning qiymati hamda zarralarga bog'liq muammolar tufayli potensial ishlab chiqarish yo'qotilishi yoki jihozlarga zarar etkazish xarajatlari bilan oqlanadi.

Shovqin, tebranish va tozalik xonasiga moslik

Ayniqsa tozalik xonalari sifatida tasniflangan elektronika ishlab chiqarish ob'ektlari zarralar hosil qilish, shovqin darajasi va tebranish jihatidan qat'iy talablarga ega. Tozalik xonasida yoki uning yaqinida foydalaniladigan aylanuvchi perevachli vakuum nasosi shu parametrlarga qo'shgan hissasi bo'yicha baholanishi kerak. O'ta tebranish vaqt o'tishi bilan mexanik ulanishlarni loyihadan chiqarib yuborishi mumkin va ekstremal hollarda yaqin atrofda ishlayotgan nozik jarayonlar yoki metrologiya jihozlarining aniqliq darajasini ham ta'sirlashi mumkin.

Aksariyat sanoat darajasidagi aylanuvchi plastinkali vakuum nasoslarining modellari mexanik tebranishlarni tayanch konstruksiyaga uzatishni minimal darajada kamaytirish uchun antitebranish o'rnatmalari va muvozanatlangan aylanuvchi qismlar bilan jihozlangan. Shovqin darajalari, odatda desibel birliklari bilan o'lchanadi, shuningdek, ishlab chiqaruvchilar tomonidan ko'rsatiladi va xodimlar uzun muddat davomida uskuna yaqinida ishlaydigan muhitlar uchun past shovqinli modellar afzal ko'riladi.

Aylanuvchi plastinkali vakuum nasoslarining tozalik xonasiga mos versiyalari ko'pincha zarrachalar ajratishiga sabab bo'lishi mumkin bo'lgan minimal ochiq yuzalarga ega butunlay yopiq korpuslarga ega bo'ladi, shuningdek, chiqish ulanishlari tozalik xonasining ichiga emas, balki tashqi muhitga yo'naltiriladi. Bu dizayn moslamalari yarimo'tkazgichlar va ilg'or elektronika ishlab chiqarishida keng tarqalgan ISO klassifikatsiyali tozalik xonalari uchun nasosni tanlashda muhim ahamiyatga ega.

Elektronika korxonalarida ishlash samaradorligini saqlashga xizmat qiladigan texnik xizmat ko'rsatish amaliyotlari

Moy texnik xizmati va kontaminatsiya nazorati

Aylanuvchi plastinkali vakuum nasosidagi moy faqat g'ishtlik emas — bu vakuumni sig'dirish mexanizmiga faol qo'shgan hissasi. Sifati pasaygan, ifloslangan yoki miqdori kamaygan moy nasosning chuqur vakuum darajasini yaratish va saqlash qobiliyatiga bevosita ta'sir qiladi. Jarayon doimiylik muhim ahamiyatga ega bo'lgan elektronika ishlash sohasida nasos moyini yaxshi holatda saqlash oldini olish uchun amalga oshiriladigan majburiy texnik xizmat ko'rsatish emas — bu jarayonni boshqarish talabi.

Moy almashtirish muddatlari faqat belgilangan kalendardagi jadvallarga amal qilish emas, balki gaz yuklamasi, kondensatsiyalanadigan bug' miqdori va ish harorati kabi haqiqiy ish sharoitlariga asoslanib belgilanishi kerak. Ko'p sonli korxonalar aylanuvchi plastinkali vakuum nasos tizimlarini yuqori gaz yuklamasi talab qiladigan ilovalarda qo'llaganda, kislota soni, suv miqdori va zarrachalar darajasini nazorat qilish uchun moy tahlili dasturlarini joriy etishadi; bu esa ma'lumotlarga asoslangan texnik xizmat ko'rsatish qarorlarini qabul qilish imkonini beradi va shu bilan birga, vaqtidan avval moy almashtirishini hamda jarayon sifatini buzadigan sifati pasaygan moydan foydalanishni oldini oladi.

Mashina moyi filtrlari va tuman ajratgichlari aylanuvchi plastinkali vakuum nasoslarini kompleks texnik xizmat ko'rsatish dasturining bir qismi sifatida tekshirilishi va almashtirilishi kerak. To'liq bloklangan moy tuman ajratgichi chiqish oqimini cheklaydi, natijada ichki bosim oshadi va nasosning ishlash samaradorligi pasayadi. Yuqori quvvatli elektronika korxonalarida texnik xizmat ko'rsatish uchun nasosning ishlamay qolishi jarayon ta'sirini minimal darajada kamaytirish maqsadida rejalashtirilgan ish vaqti davomida amalga oshirilishi kerak.

Plastinkalarni tekshirish va mexanik xizmat ko'rsatish

Plastinkalar o'zlarining o'ziga xos xususiyati sifatida har qanday aylanuvchi plastinkali vakuum nasosida yeyiladigan detallardir. Vaqt o'tishi bilan ular doimiy ravishda korpus devorlari bilan urilishadi va bu gaz kameralarining samarali germetiklanishini pasaytiruvchi asta-sekin yeyilishni keltirib chiqaradi. Plastinkalarning yeyilishi davom etganda nasos chuqur vakuum yaratish qobiliyatini yo'qotadi va yakuniy bosim bo'yicha ishlash samaradorligi pasayadi. Shu sababli elektronika qurilmalarini ishlab chiqarishda nasos ishlash samaradorligini saqlash uchun plastinkalarning holatini muntazam ravishda tekshirish — muhim vazifa hisoblanadi.

Parraklarning yaxshilinish tezligi, masalan, nasos tezligi, moy qanday qo'linishi, gaz yuklamasi va nasosning korrozion yoki abraziv jarayon gazlarini qayd etishi kabi ish sharoitlariga bog'liq. Florid birikmalar kabi reaktiv gazlarni ba'zan qayd etadigan elektronika sohasidagi ilovalarda parrak materiallari kimyoviy moslik uchun tanlanishi kerak, shuningdek, tekshirish muddatlari mos ravishda qisqartirilishi kerak.

Rotatsion parrakli vakuum nasosi parraklarni almashtirish yoki umumiy ta'mirlash uchun bo'linib tushirilganda, rotor, korpus ichki sirti, podshipniklar va o'q sig'imi kabi barcha detallarga tekshirish imkoniyatidan foydalanish kerak. Rejalashtirilgan ta'mirlash paytida rivojlanayotgan mexanik muammolarni aniqlash, ishlab chiqarish jarayonida rejalashtirilmagan nosozlik sodir bo'lganda uni bartaraf etishdan ancha arzonroqdir. Har bir nasos birlik uchun aniq xizmat yozuvlarini tuzish ham keyingi ta'mirlash qachon kerak bo'lishini bashorat qilish uchun trendlarni tahlil qilish imkonini beradi.

Tez-tez so'raladigan savollar

Rotatsion parrakli vakuum nasosini boshqa nasos turlariga nisbatan elektronika qayta ishlashda qanday qilib mos qiladi?

Aylanuvchi plastinkali vakuum nasosi elektronika qurilmalarini ishlab chiqarishning turli bosqichlarida keng qo'llaniladigan chuqur vakuum imkoniyati, yuqori so'rish tezligi va mexanik ishonchlilikni amaliy birlashtirib beradi. Quruq nasoslarga nisbatan aylanuvchi plastinkali moy bilan sig'dirilgan nasoslar pastroq yakuniy bosimlarga erisha oladi va shu bilan birga jihozlar narxi ham arzonroq bo'ladi. Membranali nasoslarga nisbatan ular ancha yuqori gaz hajmlarini qayta ishlashga qodir va chuquroq vakuum darajasiga erishadi. Bu ko'p funksiyalilik, shuningdek, yetilgan texnologiya va oddiy texnik xizmat ko'rsatish talablari aylanuvchi plastinkali vakuum nasosini butun dunyo bo'ylab elektronika qurilmalarini ishlab chiqarish korxonalarida keng qo'llaniladigan tanlovga aylantiradi.

Aylanuvchi plastinkali vakuum nasosidan kelib chiquvchi moy ifloslanishi yarimo'tkazgichli jarayonlarga qanday ta'sir qiladi?

Aylanma plastinkali vakuum nasosi tomonidan chiqarilgan moy bug'i jarayon kamerasi devorlariga va substratlarga gidrokarbon plastralarni qo'yib yuborishi mumkin, bu esa qoplamalarning birikmasini buzish, elektr o'tkazuvchanligini pasaytirish yoki sirtning ifloslanishiga sabab bo'ladi va natijada qurilmaning ishlash sifati hamda chiqish ko'rsatkichi pasayadi. Buni oldini olish uchun mos oldi chiziq ushlagichlari, sovuq ushlagichlar va yuqori sifatli, past bug' bosimli nasos moylaridan foydalanish kerak. Shuningdek, quvvat uzilganda yoki nasos o'chirilganda jarayon kamerasini himoya qilish uchun kirish antisosib qilish klapanining to'g'ri ishlashini ta'minlash uchun doimiy texnik xizmat ko'rsatish zarur.

Aylanma plastinkali vakuum nasosi elektronika ishlab chiqarishida ishlatiladigan reaktiv gazlarni qayta ishlashga qodirmi?

Standart aylanma plastinkali vakuum nasoslarining dizayni, ayrim etch yoki CVD jarayonlarida uchraydigan kuchli reaktiv yoki korroziv gazlarga uzluksiz ta'sir qilish uchun mo'ljallanmagan. Biroq, nasos ichki qismlarida korroziyaga chidamli materiallardan, maxsus plastinka tarkiblaridan va yengil reaktiv gazlarga ta'sir qilishga mo'ljallangan mos moylardan foydalangan holda ishlaydigan kimyoviy jihatdan chidamli variantlari mavjud. Kuchli oksidlovchi moddalar yoki aggressiv ftorli kimyoviy birikmalar ishtirok etadigan jarayonlar uchun reaktiv moddalarni nasos tanasiga kirishidan oldin neytrallashtirish maqsadida nasosdan oldin qo'shimcha gaz tozalash tizimlari o'rnatilishi kerak.

Elektronika korxonasida aylanma plastinkali vakuum nasosi qanchalik tez-tez texnik xizmat ko'rsatilishi kerak?

Aylanma plastinkali vakuum nasosi uchun xizmat ko'rsatish muddatlari elektronika qayta ishlashda aniq ilova, gaz yuklamasi va ish soatlari shartlariga bog'liq. Umumiy qo'llanma sifatida moy almashtirish odatda 500 dan 2000 gacha ish soatlari orasida amalga oshiriladi, shu bilan birga plastinkalarga tekshiruv kiritilgan to'liq mexanik tekshiruvlar yiliga bir marta yoki belgilangan soat chegaralarida o'tkaziladi. Yuqori bug' yuklamasi sharoitida nasosni doimiy ravishda ishlatadigan korxonalar qisqa muddatlardan foydalangan holda moy holatini nazorat qilishni amalga oshirishlari kerak; bu esa moy sifatining rejalashtirilgan almashtirish sanasidan oldin qabul qilinadigan chegaradan tashqari pasayganligini aniqlash imkonini beradi.